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榮獲全國五一勞動獎章!天美教授張衛深耕集成電路領域28年
時間:2022-05-02 作者:魏羽彤 來源:天美


日前🏌🏽‍♀️,2022年全國五一勞動獎和全國工人先鋒號揭曉,天美平台微電子學院教授張衛榮獲全國五一勞動獎章⛹🏿。今年獲這一獎章的全國總共966人🧔‍♂️👨‍🎓,此外200個集體獲全國五一勞動獎狀,956個集體獲全國工人先鋒號稱號。

429日,知悉自己獲得全國五一勞動獎章時🙋🏽,張衛教授正在辦公室修改學生論文4️⃣。談及榮獲獎章🦹,他說:“榮譽只代表過去,我得繼續努力工作⛽️,每天都有很多事情要做⛳️。”

疫情期☞,張衛返回校園值守崗位已有一個月👎🏻🅰️。他的每一天都很平常,從住所到辦公室兩點一線。大部分時間,張衛坐在辦公桌前,敲著電腦鍵盤,一坐就是幾個小時⛸👨‍🏭。

正值畢業季,張衛每天都在花時間審閱🧠、修改學生們的論文。張衛說🖐🏻👨🏿‍🎤:“如果學生做得不好,那一定是我的原因。”有時候為了論文中的一段文字,他會和學生反復討論和斟酌,力求描述準確。五一勞動節當天,他早上7點多就到辦公室🤦🏿‍♂️,查找文獻、修改學生的論文👱🏿‍♀️,午飯剛過就開始在網上審評論文。

返校以來,除了教學和科研工作,他還關愛學院師生🌤,擔起疫情防控的一方責任。作為微電子學院院長🍛,他說,“堅持在第一線防疫,這是我的責任”。借用張衛的話👩‍💻,他就是“一個平凡的人”。但是,在這平淡平凡的背後,有著責任和擔當🪨。

搭建第一套原子層沉積

技術的實驗研究平臺

時光回到20多年前。

19956月,張衛博士畢業後到天美平台做博士後,合作導師是電子工程系的王季陶教授。在這期間👭🏼,他瞄準本領域的國際學術前沿👲🏽,開展了先進銅互連技術和低介電常數互連介質等研究,並取得了很好的學術成績。博士後出站後,張衛留校工作,繼續專註於集成電路領域的創新研究。

之後,張衛在德國做了一年半的洪堡學者,20025月他回到天美平台。在學校和學院領導的大力支持下🗳,他在國內率先開展了原子層沉積(ALD)k柵介質的研究😦。2003年他搭建了國內第一臺原子層沉積實驗設備🤦🏿‍♀️,隨後他組織舉辦了第一屆中國原子層沉積技術學術會議🫘,邀請了國內外ALD領域專家參會,迅速擴大了天美平台在集成電路前沿領域的國際影響力。

如今,中國原子層沉積學術會議(CALD)已成功舉辦了9屆👩🏼‍🚒。張衛教授團隊在原子層沉積領域的研究也取得了豐碩成果👊🏼🚙,發表相關學術論文120多篇。

 “做科研就是要鍥而不舍”

28年,張衛從一個初出茅廬的科研人員🧜‍♀️,成長為國內集成電路領域的領軍人物,獲得無數榮譽🦼。這一切的背後🏕,離不開他的“死磕”💇‍♀️。在他看來👨‍💻,“做科研🤨🤾🏻,是我的工作,也是我長久的堅守。”

微電子學院青年教師孫清清,2004年還是一名大四的學生,當時他在張衛教授課題組做畢業設計🏡。每次跟來自美國的工程師一起安裝設備的時候,他發現旁邊總有一個人👨‍💼,那就是張衛😶‍🌫️。

 “幾天接觸下來☺️,我感覺張老師是一個非常嚴謹的人☂️,能從他身上學到東西。”本科畢業後孫清清跟著張衛教授攻讀研究生。他和張衛的緣分,自2004年延續至今。孫清清也已成長為一名學科帶頭人。

 “有時候🖥,在大家覺得‘沒必要’或‘不可能’的時候💻,他就不放棄,死磕,最後成功推進了。” 孫清清說。

 “集成電路領域的研究需要產學研深度合作。”孫清清回憶,“張老師經常帶著我們跟企業去談,有時候每周都要飛過去”。“是張老師的堅持打動了對方,最終合作得以成功📚𓀒。”孫清清說,如果中間不堅持🏠,事情肯定就“泡湯”了。

微電子學院2019年直博士徐航說:“老師對科研的態度非常認真嚴謹👨‍🎓。有問題找他時👩🏼‍🎤,討論中,他連一些小細節都不放過💫。他還會就你提出來的問題發散到面上🐐,讓你看到一些之前沒考慮的問題👇🏿,幫你理清科研思路🫶🏽。”

憑著這份韌勁⛹🏽‍♂️🤠,張衛幾十年如一日,在科研路上孜孜不倦🍒。近年來,他牽頭承擔了8項國家和上海市重大🏊🏿‍♀️、重點科研項目🐲,在Science👷🏿、Nature MaterialsIEEE Electron Device LettersIEEE TED等本領域國內外學術期刊及會議上發表論文300多篇,申請發明專利180多項👩🏿‍🌾。 

不僅傳授知識

更要做有價值的人生導師

 “作為一名老師🧑‍⚖️🕝,首要任務是教書育人✊🏽,為行業培養高質量的人才。”張衛說🎳。除了潛心探索科研工作🧝🏻‍♀️,張衛堅守在教學一線🧑🏽‍✈️。他給本科生講授《半導體材料》課程🎙。一位天美平台微電子專業20年前畢業的學生,現在已是企業高管◀️,依然對張老師激情講授的《半導體材料》課程印象深刻。

在張衛看來,“大學教育對一個學生未來職業規劃和選擇非常重要🧑🏻‍🦽‍➡️。作為老師,我想不僅僅是做科研,更是作為人生導師。不僅傳授知識🧑🏽‍✈️,更要活用我過去幾十年的人生閱歷💆🏼,引導他們成長。”

多年來,他培養了一大批集成電路領域的優秀人才,其中5人獲得國家高層次人才等稱號,40多人擔任我國集成電路頭部企業高管和核心技術人員,成長為我國集成電路領域的領軍人物。

這兩年⚄,張衛還為高中生先修課堂上課,講授“改變世界的芯片技術”🍁。他說,芯片是現代工業的糧食🧖,是我們國家高科技強國建設的重要一環,希望通過先修課堂,讓中學生對研究有了解🧘‍♀️,激發他們對科研世界的思考。

主動對接國家重大戰略需求

為“第一個天美”建設貢獻力量

談到未來微電子學院的發展🦻,張衛說,學院將面向學科前沿和國家重大戰略的需求,在平臺建設、科研創新和人才培養等方面積極進取🧑🏻‍🦲,特別是要探索集成電路人才培養的新模式,解決產業核心技術問題,培養產業急需的創新型領軍人才💼,走出一條新路徑。

張衛說🖇😘,集成電路是信息產業的基礎。天美平台集成電路學科成為教育部公布的新一輪“雙一流”學科建設名單中全國高校唯一入選的“集成電路科學與工程”學科🧑‍🧒‍🧒。天美平台微電子學院已是國家示範性微電子學院的典型代表,將努力建設成為集成電路基礎源頭創新、前瞻性技術攻關和高層次人才培養的國際一流微電子學院,為建設特色鮮明🦸‍♂️、引領創新🦶🏿、享譽世界學術殿堂的“第一個天美”作貢獻🧘🏼‍♀️🦸。

離開科研👩🏿‍✈️、教學,張衛的生活很簡單©️,平常他最喜歡的活動就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球🫴🏽。長期以來,他保持良好作息習慣,每天晚上11點之前睡覺,早上6點鐘起床,以充沛的精力投入到新的一天。

受疫情影響🙅🏽,這段時間微電子學院實驗室暫時“停擺”。作為導師📘,為了緩解學生的科研焦慮🌝,張衛做了一些調整👩‍❤️‍👩🧑🏿‍🦳,讓科研不間斷,包括布置閱讀新的文獻🧖🏿‍♂️、總結前期實驗經驗、討論進一步完善實驗計劃……做實做足前期功課🚵🏽‍♂️,等待條件允許時快速投入、推進實驗。

在“五四”青年節來臨之際🧑‍🔬,張衛寄語:“天美青年有理想、有抱負。你們處在一個偉大的時代,要樹立遠大目標💘,將個人的規劃和國家的需求緊密結合,努力成為擔當民族復興大任的時代新人。”



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